產(chǎn)品名稱

VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機(jī)

主要特點(diǎn)

1、全柜式集成結(jié)構(gòu)，工業(yè)級設(shè)計(jì)

2、大適合8寸晶圓，向下兼容，基片工裝方便更換

3、XYZ三軸電缸設(shè)計(jì)，噴頭高度程序可設(shè)置

4、轉(zhuǎn)盤加熱旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)，工作區(qū)高熱均勻性

5、微量平流系統(tǒng)，流速平穩(wěn)，流量精確可調(diào)

6、采用超聲噴霧系統(tǒng)，霧化顆粒均勻，功率可調(diào)

7、帶基片吸附和電動頂針功能，方便上下片和計(jì)時功能

8、帶膠液監(jiān)測功能，頂部抽風(fēng)，保證工業(yè)生產(chǎn)需要

9、七寸全彩觸屏操作，手動調(diào)試和自動運(yùn)行兩種操作模式

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC220V，50HZ，1.5KW

2、工作環(huán)境：濕度：20-90%，溫度20-30℃

3、處理Wafer尺寸：200mm以下，向下兼容

4、熱盤溫度控制：室溫至200℃，控溫精度±0.5℃，工作區(qū)溫度均勻性 小于±1%

5、基片頂升系統(tǒng)：頂升高度0-15mm，高度分辨率0.1mm 膠液流速范圍 1-20ml/min可調(diào)

6、熱盤電機(jī)額定轉(zhuǎn)速：1000rpm

7、XY電缸移動大速度：X軸200mm/s，Y軸200mm/s

8、XY電缸有效行程：300mm×300mm

9、超聲波霧化粒徑：30-50μm

10、操作系統(tǒng)：人機(jī)互動界面，PLC控制

11、噴嘴移動方式：電動機(jī)械組合XYZ三軸電缸

產(chǎn)品規(guī)格

1、機(jī)器尺寸：1000mm×880mm×1800mm （長×寬×高）

2、重量：55Kg