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簡要描述：4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜，因此這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2016-04-12訪 問 量：2156產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號 | 4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng) |
主要特點(diǎn) | 1、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。 2、輝光放電等離子體中電子密度可達(dá)109-1012cm3。 3、電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍。 4、配有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計，可準(zhǔn)確地控制氣體流量。 5、一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。 6、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)部分，可手動控制混合氣體的輸入。 7、已通過CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 管式爐 1、電源：AC220V 4KW 2、爐管：Φ50mm，Φ60mm，Φ80mm都可用 3、溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器 4、加熱區(qū)：440mm 5、恒溫區(qū)：150mm |
等離子射頻電源 1、輸入功率：AC220V 1KW 2、輸出功率：50-500W可調(diào)，±1% 3、RF頻率：13.56MHz可調(diào)，±0.005%穩(wěn)定 4、噪聲：≤55DB 5、冷卻：風(fēng)冷 | |
真空泵和質(zhì)量流量計 1、真空度：10-3torr 2、波紋管：KF25系列 3、質(zhì)量流量計：0-200，誤差0.02%，進(jìn)氣口采用標(biāo)準(zhǔn)雙卡頭 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，供氣及真空系統(tǒng)600mm×600mm×1250mm 重量：120kg |
可選配件 | 防腐型數(shù)字式真空計 |
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